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1991年2月25日凌晨3点17分,武汉大学物理楼地下室。
林振华教授的白大褂已经被汗水浸透,他死死盯着电子显微镜显示屏上那团模糊的影像。实验室里弥漫着刺鼻的化学药剂气味,通风系统早在八小时前就被关闭——任何微小的气流波动都可能影响实验结果。
“折射率1.56,接近理论值了!“戴着厚镜片的研究生小王声音发抖,他面前的频谱分析仪上,一条绿色曲线正缓缓爬升。
林教授没有回应,布满血丝的眼睛一眨不眨。显微镜下,那团淡蓝色的胶状物正在发生某种奇妙的变化——这是他们第三百二十一次尝试合成的光刻胶样品。前三百二十次,不是黏度不达标就是感光度差强人意。
“紫外光强度再加5%。“林教授的声音沙哑得像砂纸摩擦。
操作台前的女博士手指微颤,将旋钮轻轻转动。刹那间,整个实验室被诡异的蓝光笼罩,通风管道里传来老鼠惊慌逃窜的窸窣声。
五秒。十秒。十五秒。
“成了!“小王突然尖叫,差点从转椅上摔下来。频谱仪上的曲线如悬崖般陡峭上升,最终稳稳停在1.567的位置。
林教授双腿一软,扶住实验台才没有跪倒。三年了,他们终于突破了日本JSR公司的技术封锁,研发出完全自主知识产权的深紫外光刻胶。这种用于芯片制造的关键材料,一直被美国商务部列入对华禁运清单。
“立刻备份数据。“林教授扯下口罩,露出久违的笑容,“记得用老办法。“
女博士会意地点点头,从抽屉取出一台老式机械相机,对着屏幕上的数据拍下照片。在这个电子数据可能被远程窃取的时代,这种原始方法反而最安全。
他们不知道的是,通风管道深处的阴影里,一个微型摄像头正无声记录着这一切。
同一时刻,扬帆大厦顶层。
谢一扬站在落地窗前,手里把玩着一枚晶圆。窗外,长江的夜色被浓雾笼罩,像一团化不开的墨。办公桌上的红色电话突然响起,他按下免提键,张铁柱沙哑的声音立刻充满整个房间:
“老板,'鼹鼠'发来消息,林老头那边搞定了。“
谢一扬的指尖在晶圆边缘轻轻摩挲,感受着那比纸还薄的锋利。“配方完整度?“
“百分之九十二,还差最后一道提纯工艺的参数。“张铁柱顿了顿,“不过缅甸那边的工程师说,这个完成度足够量产了。“
“告诉吴奈温,明天就动工。“谢一扬挂断电话,转身走向保险柜。指纹识别通过后,他取出一份标着“光刻胶“的文件夹,里面是三个月前从日本JSR公司偷来的部分技术文档。
他翻开最后一页,在“热稳定性“一栏打了个问号。这个技术难点,如今被林教授的团队攻克了。
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